彤程新材擬投資6.98億元建ArF高端光刻膠研發(fā)平臺(tái) 2023年建完
挖貝網(wǎng) 8月16日消息,彤程新材(603650)宣布,擬通過(guò)公司全資子公司-上海彤程電子材料有限公司(簡(jiǎn)稱,彤程電子)在上?;瘜W(xué)工業(yè)區(qū)內(nèi)使用自籌資金6.9853億元,投資建設(shè)“ArF高端光刻膠研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目”,項(xiàng)目預(yù)計(jì)于 2023年末建設(shè)完成。
據(jù)介紹,項(xiàng)目主要研究 ArF 濕法光刻膠工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)開(kāi)發(fā),通過(guò)建立標(biāo)準(zhǔn)化的生產(chǎn)及控制流 程,提升高端光刻膠的質(zhì)量控制水平,實(shí)現(xiàn) 193nm 濕法光刻膠量產(chǎn)生產(chǎn);同時(shí),逐步建立先進(jìn)的集成電路及配套材料開(kāi)發(fā)與應(yīng)用評(píng)價(jià)平臺(tái)。
彤程新材稱,根據(jù)公司發(fā)展戰(zhàn)略,進(jìn)一步深化公司在電子材料領(lǐng)域的業(yè)務(wù)布局,彌補(bǔ)國(guó)內(nèi)光刻膠技術(shù)與全球先進(jìn)水平的差距,研究ArF光刻膠,特別是193nm濕法光刻膠的工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù),確定193nm光刻膠工程化放大技術(shù)、標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)流程及質(zhì)量管控體系,研發(fā)生產(chǎn)光刻膠高端產(chǎn)品。
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