彤程新材擬投資6.98億元建ArF高端光刻膠研發(fā)平臺(tái) 2023年建完

2021/8/16 21:14:19 挖貝網(wǎng)

挖貝網(wǎng) 8月16日消息，彤程新材（603650）宣布，擬通過(guò)公司全資子公司-上海彤程電子材料有限公司（簡(jiǎn)稱，彤程電子）在上?；瘜W(xué)工業(yè)區(qū)內(nèi)使用自籌資金6.9853億元，投資建設(shè)“ArF高端光刻膠研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目”，項(xiàng)目預(yù)計(jì)于 2023年末建設(shè)完成。

據(jù)介紹，項(xiàng)目主要研究 ArF 濕法光刻膠工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)開(kāi)發(fā)，通過(guò)建立標(biāo)準(zhǔn)化的生產(chǎn)及控制流程，提升高端光刻膠的質(zhì)量控制水平，實(shí)現(xiàn) 193nm 濕法光刻膠量產(chǎn)生產(chǎn)；同時(shí)，逐步建立先進(jìn)的集成電路及配套材料開(kāi)發(fā)與應(yīng)用評(píng)價(jià)平臺(tái)。

彤程新材稱，根據(jù)公司發(fā)展戰(zhàn)略，進(jìn)一步深化公司在電子材料領(lǐng)域的業(yè)務(wù)布局，彌補(bǔ)國(guó)內(nèi)光刻膠技術(shù)與全球先進(jìn)水平的差距，研究ArF光刻膠，特別是193nm濕法光刻膠的工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)，確定193nm光刻膠工程化放大技術(shù)、標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)流程及質(zhì)量管控體系，研發(fā)生產(chǎn)光刻膠高端產(chǎn)品。

彤程新材

相關(guān)閱讀